Un ellipsomètre spectroscopique modulaire

GC Staff
Novembre 17, 2017
Écrit par GC Staff
HORIBA Scientific, un leader mondial en ellipsométrie spectroscopique, propose l’UVISEL Plus, un ellipsomètre spectroscopique modulaire doté d’une nouvelle technologie d’acquisition pour une mesure plus rapide et plus précise des couches minces.

La nouvelle technologie FastAcq est basée sur une double modulation, parfaitement adaptée à la caractérisation des couches minces d’aujourd’hui. Forte de ce nouveau traitement de données électronique et d'un monochromateur plus rapide, la nouvelle technologie FastAcq permet d'effectuer une mesure spectroscopique de 190 à 2100 nm en moins de trois minutes, à très haute résolution. La possibilité d’ajuster la résolution spectrale sur des plages distinctes de la gamme permet de mesurer un échantillon plus rapidement et plus astucieusement.

Grâce à sa conception sans éléments tournants, ni composants supplémentaires dans le trajet optique, la technologie à modulation de phase des UVISEL fournit une modulation de polarisation pure et performante. Les capacités supérieures du modulateur photo-élastique permettent des mesures ellipsométriques plus précises, notamment nécessaires pour les couches transparentes déposées sur substrat de verre.

La conception modulaire et évolutive de l'UVISEL Plus offre plusieurs tailles de microspot dédié aux échantillons à motif jusqu'à 50 μm, un angle d’incidence variable de 40 à 90°, une cartographie automatique et une variété d'accessoires.

http://www.horiba.com/us/en/

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